センター長
教授 |
統括部門 |
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副センター長
教授 |
プラズマ科学部門 |
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教授 |
統括部門/プラズマバイオ部門 |
教授 |
半導体プロセス科学部門 |
統括部門
部門長 | 教授 |
【所属】大学院工学研究科 |
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教授 |
【所属】岐阜大学工学部機械工学科 |
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特任教授 |
【所属】低温プラズマ科学研究センター |
|
特任教授 |
【所属】低温プラズマ科学研究センター |
|
特任教授 |
小田 修 【所属】低温プラズマ科学研究センター |
|
特任教授 |
永関 一也 【主所属機関】東京エレクトロン(株) |
|
特任教授 |
大村 光広 【主所属機関】キオクシア(株) |
|
特任教授 |
宮下 直人 【所属】低温プラズマ科学研究センター |
|
特任教授 |
【所属】低温プラズマ科学研究センター |
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特任准教授 |
川越 理史 【主所属機関】SCREENホールディングス(株) |
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特任講師 |
谷出 敦 【主所属機関】SCREENホールディングス(株) |
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特任講師 |
安藤 睦 【主所属機関】(株)荏原製作所 |
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特任講師 |
杉本 浩一 【主所属機関】NU-Rei(株) |
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特任助教 |
光成 正 【主所属機関】東京エレクトロン(株) |
|
特任助教 |
森山 誠 【主所属機関】キオクシア(株) |
|
特任助教 |
SUSAI Francis Amalraj 【主所属機関】NU-Rei(株) |
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特任助教 |
森川 裕樹 【主所属機関】(株)荏原製作所 |
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URA |
LIAO CHIEH JU 【所属】学術研究・産学官連携統括本部 |
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研究員 |
小塚 義成 【主所属機関】公益財団法人 科学技術交流財団 |
プラズマ科学部門
部門長 | 教授 |
【所属】名古屋大学大学院工学研究科 |
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教授 |
【所属】大学院理学研究科 |
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教授 |
【所属】大学院工学研究科 |
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教授 |
【所属】大学院工学研究科 |
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教授 |
【所属】大学院情報学研究科 |
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教授 |
【所属】宇宙地球環境研究所 |
|
教授 |
【所属】宇宙地球環境研究所 |
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准教授 |
【所属】未来材料・システム研究所 |
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准教授 |
【所属】低温プラズマ科学研究センター |
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特任准教授 |
【所属】低温プラズマ科学研究センター |
|
特任准教授 |
【所属】低温プラズマ科学研究センター(クロアポ) |
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准教授 |
【所属】大学院工学研究科 |
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助教 |
【所属】大学院工学研究科 |
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助教 |
井上 健一 日本学術振興会特別研究員(PD) |
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研究員 |
TRAN Trung Nguyen 【所属】低温プラズマ科学研究センター |
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研究員 |
MO Michael Kin Ting 【所属】低温プラズマ科学研究センター |
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研究員 |
三輪 和弘 【所属】低温プラズマ科学研究センター |
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客員教授 |
林 俊雄 |
|
客員教授 |
【所属】フランス国立科学研究センター |
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客員教授 |
笹井 建典 【所属】住友理工株式会社 |
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客員教授 |
小森 彰夫 |
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客員教授 |
【所属】九州大学 大学院システム情報科学研究院 |
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客員准教授 |
【所属】中国科学院大学 |
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客員准教授 |
JinJing Luo 【所属】厦門大学 |
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招へい研究員 |
GAMALEEV Vladislav 【所属】(株)エア・リキード・ラボラトリーズ |
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教授 |
【所属】岐阜大学工学部機械工学科 |
グリーンDXプラズマ部門
部門長 | 教授 |
【所属】低温プラズマ科学研究センター |
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教授 |
【所属】大学院工学研究科 |
|
教授 |
【所属】大学院工学研究科 |
|
教授 |
【所属】大学院工学研究科 |
|
教授 |
【所属】大学院工学研究科 |
|
教授 |
【所属】大学院工学研究科 |
|
教授 |
【所属】大学院工学研究科 |
|
教授 |
【所属】未来社会創造機構 |
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特任教授 |
清水 尚博 【所属】低温プラズマ科学研究センター |
|
特任教授 |
服部 圭 【所属】低温プラズマ科学研究センター |
|
准教授 |
【所属】大学院工学研究科 |
|
特任講師 |
DHASIYAN Arun Kumar 【所属】低温プラズマ科学研究センター |
|
研究員 |
Pankaj Kumar Singh 【所属】ベンチャービジネスラボラトリー |
|
研究員 |
PHAN Nguyen Quoc Huy 【所属】低温プラズマ科学研究センター |
|
客員教授 |
庄田 尚弘 【所属】日本エー・エス・エム株式会社 |
|
客員教授 |
赤堀 浩史 【所属】Rapidus株式会社 |
プラズマバイオ部門
教授 |
【所属】低温プラズマ科学研究センター |
|
教授 |
【所属】大学院医学系研究科 |
|
教授 |
【所属】大学院生命農学研究科 |
|
教授 |
【所属】大学院医学系研究科 |
|
教授 |
【所属】大学院医学系研究科 |
|
教授 |
【所属】大学院医学系研究科 |
|
教授 |
【所属】大学院医学系研究科 |
|
教授 |
【所属】大学院医学系研究科 |
|
教授 |
【所属】大学院医学系研究科 |
|
病院教授 |
【所属】医学部附属病院 |
|
教授 |
【所属】大学院工学研究科 |
|
教授 |
【所属】大学院医学系研究科 |
|
教授 |
【所属】大学院情報学研究科 |
|
教授 |
【所属】大学院生命農学研究科 |
|
特任准教授 |
【所属】低温プラズマ科学研究センター |
|
特任准教授 |
【所属】低温プラズマ科学研究センター |
|
特任講師 |
秋山 真一 【所属】大学院医学系研究科 |
|
特任講師 |
橋爪 博司 【所属】低温プラズマ科学研究センター |
|
客員教授 |
朴 桂林 |
|
客員教授 |
近藤 隆 【所属】富山大学 |
|
客員教授 |
樋口 恒彦 【所属】名古屋市立大学 |
|
客員准教授 |
PRIETO Graciela |
半導体プロセス科学部門
部門長 | 教授 |
【所属】低温プラズマ科学研究センター |
---|---|---|
教授 |
【所属】大学院工学研究科 |
|
教授 |
【所属】大学院工学研究科 |
|
教授 |
【所属】未来材料・システム研究所 |
|
教授 |
【所属】未来材料・システム研究所 |
|
教授 |
【所属】未来材料・システム研究所 |
|
教授 |
【所属】岐阜大学工学部電気電子・情報工学科 |
|
教授 |
【所属】大学院工学研究科 |
|
特任講師 |
NGUYEN Thi-Thuy-Nga 【所属】低温プラズマ科学研究センター |
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特任講師 |
馬 緻宇 【所属】低温プラズマ科学研究センター |
|
研究員 |
OSONIO Airah Peraro 【所属】低温プラズマ科学研究センター |
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客員教授 |
長谷川 功宏 【所属】(株)character |
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客員教授 |
灘原 壮一 【所属】SCREENホールディングス(株) |
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客員教授 |
小寺 雅子 【所属】Moses Lake Industries |
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客員教授 |
小林 伸好 【専門】半導体材料・プロセス |
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客員教授 |
酒井 伊都子 【主所属機関】キオクシア(株) |
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客員教授 |
大矢 欣伸 【主所属機関】東京エレクトロン宮城(株) |
|
客員准教授 |
【所属】Indian Institute of Technology Delhi |
技術部門
技術員 |
田中 玲子 【所属】低温プラズマ科学研究センター |
|
技術員 |
水野 寛子 【所属】低温プラズマ科学研究センター |
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技術補佐員 |
勝又 優子 【所属】低温プラズマ科学研究センター |
|
技術補佐員 |
田中 文子 【所属】低温プラズマ科学研究センター |
|
技術補佐員 |
柴田 由希 【所属】低温プラズマ科学研究センター |
事務部門
事務部長 |
服部 昌祐 |
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事務員 |
廣田 和代 |
事務員 |
寺澤 妙子 |
事務員 |
瀧谷 かおり |
事務員 |
井土 晴子 |
事務員 |
武田 万里恵 |
事務補佐員 |
河治 里歩 |
事務補佐員 |
内海 友香 |