研究内容
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プラズマ科学部門
低温プラズマの生成・診断技術の学理構築を推進しています。微細加工や成膜のプラズマ技術開発では、学際領域の多様な研究を研究科の垣根を越え展開し、世界を先導する成果を挙げてきました。最先端プラズマ科学の手法を発展させ、基礎と応用の両輪で研究を推進し、革新的なプラズマ技術の社会実装を目指します。
グリーンDXプラズマ部門
プラズマ粒子計測の規格化・実装・データ集積を推進し、計測科学とインフォマティクスを駆使したデータ解析基盤を構築し、多様な分野との連携・融合を加速させ、カーボンニュートラルの達成に向けたプラズマ活用による物質変換の革新的な物質資源循環プロセスと低次元材料・ナノ微粒子の新機能材料の創出を目指します。
プラズマバイオ部門
低温プラズマの医療応用、農水産応用とその基盤となる学理構築を目的として、医学系、生命農学、工学の研究科が共同で研究を推進しています。最先端のプラズマ科学や分子生物学の手法を用い、低温プラズマがバイオシステムに及ぼす影響の解明を目指します。医療や食品への有効性・安全性の評価を進めて社会実装を目指します。
半導体プロセス科学部門
当センターの世界一のプラズマ気相・表面診断技術を駆使し、プロセス中の反応原子・分子の密度、エネルギー、時空間分布を計測することで、科学的なプラズマプロセスを理解します。これに基づき、次世代半導体デバイス・インテグーレションのための革新的な半導体デバイス製造プラズマプロセスの創出を目指します。
研究メンバー
名古屋大学の半世紀にわたる世界的なプラズマ研究によって蓄積された英知を継承するプラズマ科学の研究者をはじめ、工学系、理学系全般および医療系、生命農学系など多様な分野の先鋭たちが結集。
フラットでオープンなプラットフォームの中、それぞれの専門分野を突き詰めるだけでなく、時として学際領域の境界を破り融合しあい、新しいプラズマ科学分野の開拓に挑み続けています。
